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● 根據測量條件，在有軌測量和無軌測量方式間切換，以進行優化評價。

● 通過寬幅范圍的高精度檢出器以及高直線度的驅動部，實現了超出同級水平的高精度測量。

? 檢出器 測量范圍：800μm，分辨力：0.0001μm（8μm范圍內時）

? 驅動器

直線度/驅動長度：0.3μm/25mm（SJ-411）

直線度/驅動長度：0.5μm/50mm（SJ-412）

● 使用收集到的用于評價表面粗糙度的點群數據，可簡易地進行輪廓形狀解析（階差、階差量、面積、坐標差）?？蓪υ谳喞螤顪y量儀上不能分析的細微形狀進行分析。